8英寸AlN氮化鋁陶瓷晶圓托盤

8英寸氮化鋁陶瓷托盤

氮化鋁陶瓷托盤是晶圓制造過程中一個非常重要的陶瓷配件，東莞鈞杰陶瓷擁有先進的氮化鋁陶瓷材料生產線，同時還具備高精密的加工能力。我們目前可生產6-12寸不同規格的氮化鋁陶瓷晶圓托盤，還可以生產直徑達320mm，厚度超過26mm的大型氮化鋁陶瓷板。這種大尺寸AlN陶瓷圓片可以用來生產高熱導率的氮化鋁加熱片（heater）。截至2021年10月份，鈞杰陶瓷已經為國內的十余家半導體制造企業供應這類品質出眾的氮化鋁陶瓷制品。以下展示的是由我公司生產的晶圓托盤圖片。

氮化鋁加熱器功能
熱導率與鋁相當，可實現快速且均勻的熱響應
. 瓦特密度：高達 2000 W/in ² (310 W/cm ² )
. 氮化鋁熱導率：170 W/mK
. 快速升溫速率：0-400°C（32 至 752°F），不到 2 秒
. 大氣和惰性氣體環境應用
. 復雜的 3 維幾何
. 厚度：0.05 英寸至 0.200 英寸（1.27 毫米至 5.08 毫米）
. 尺寸：最大 10.25 英寸 2 (66.13 cm² )
. 封裝鎢 (W) RTD 傳感器
. 表面鎢 (W) 或鎳 (Ni) 金屬化

多層陶瓷加熱器設計與制造
多層 AlN 加熱器設計和制造工藝擴展了 AlN 熱解決方案的能力和功能。從生坯狀態（功率）陶瓷材料開始，每一層都形成并壓制到所需的尺寸。金屬加熱器層和傳感器層夾在陶瓷層之間并加壓。然后將整個組件在高溫爐中燒結以形成整體組件。層可以包括加熱器電路、RTD 傳感器元件、接地層、射頻 (RF) 網格、金屬和陶瓷流道的組合。
AlN 加熱器用于需要低熱膨脹和/或高熱導率的應用。當與內部化學鍵合金屬導體結合使用時，這些組件可用于高功率電子設備和快速熱循環過程。通過設計具有用于安裝和散熱的金屬結構的解決方案，可以實現非常高的功率密度。